SEMI E29 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 교정용 용어 -

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Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI E29-1110(재승인 0417) - 현재

개정

Abstract

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.


이 표준은 질량 유량 컨트롤러(MFC) 및 질량 유량계(MFM)의 교정에 일반적으로 사용되는 용어를 정의합니다. 이는 제조업체와 사용자가 사용할 세계적인 용어를 제공하기 위한 것입니다.

 

이 표준은 MFC/MFM 교정과 관련된 용어를 정의합니다. 현재 반도체 업계에서는 동일한 개념이나 장치를 설명하기 위해 여러 단어를 사용하는 경우가 많습니다. 이 표준은 혼동을 없애고 사용자와 제조업체가 MFC/MFM 교정을 논의하기 위해 사용할 수 있는 공통 언어를 제공하기 위한 것입니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E12 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 안내서
SEMI E18 — 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드
SEMI E28 — 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드

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