SEMI E21 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양의 목적은 Fab에서 클러스터 도구 구현을 단순화하는 것입니다. 장비 공급업체는 여기에 포함된 사양을 사용하여 모든 클러스터 도구에 연결할 수 있는 모듈을 제공해야 합니다.

프로세스 및 카세트 모듈은 모듈마다 크게 다를 수 있는 위치에서 웨이퍼를 받아들입니다. 이는 클러스터 도구의 다양한 모듈에서 웨이퍼를 이동하는 운송 모듈의 기능에 부담을 줍니다. 이 사양은 카세트 및 프로세스 모듈 내의 웨이퍼 이송 평면을 정의합니다. 이는 웨이퍼 운송 문제를 상당 부분 제거하지만 모듈 내용을 과도하게 제한하지는 않습니다.

이 사양은 클러스터 도구에서 모듈 간의 인터페이스 평면을 정의합니다. 서로 다른 공급업체의 모듈을 함께 연결할 수 있도록 인터페이스에서 기계적 사양을 제공합니다. 모듈 콘텐츠에 요구 사항이 부과되지 않습니다.

이 사양은 직경이 200mm(~8인치) 이하인 웨이퍼와 클러스터 도구 모듈 간의 인터페이스로 제한되며 다음은 예외입니다. 전송 모듈은 인터페이스 평면에서 작동합니다. 따라서 카세트 및 공정 모듈 내 웨이퍼 이송 평면의 정의가 필요합니다.

하위 표준(포함)

SEMI E21.1 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 전송

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E21-1015(기술 개정)

SEMI E21-94(재승인 0309)

SEMI E21-94(1102 재승인)

SEMI E21-94(재승인 0699)

SEMI E21-94(기술 개정)

SEMI E21-91(최초 발행)

SEMI E21.1-1015(기술 개정)

SEMI E21.1-0309(기술 개정)

SEMI E21.1-1296(1102 재승인)

SEMI E21.1-1296(기술 개정)

SEMI E21.1-92(최초 발행)

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