SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 가이드라인은 비활성화되어 있습니다. 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 가이드라인은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용이 유효해야 합니다.

공정 장비와 이송 장비 간의 카세트 이송은 인터랙티브 영역에서 기계적 작동을 통해 이루어지며 빠른 응답과 안정적인 인터록 신호가 필요합니다.

이 사양의 목적은 재료 이동에 대한 SECS 표준을 보완하는 인터페이스 메커니즘의 제어를 위한 카세트 전송 병렬 입력/출력(I/O) 인터페이스를 제공하는 것입니다.

이 사양은 프로세스 장비와 운송 장비와 같은 두 장비 간의 카세트 전송을 위한 병렬 I/O 인터페이스를 다룹니다.

이 표준은 두 장비 사이의 유선 연결 병렬 I/O 인터페이스와 프로세스 장비와 운송 장비 사이의 광 결합 병렬 I/O 인터페이스를 정의합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1 — 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양

개정 내역

SEMI E23-1104(재승인 0710)

SEMI E23-1104(기술 개정)

SEMI E23-96(재승인 0702)

SEMI E23-96(기술 개정)

SEMI E23-91(최초 발행)

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