SEMI E22 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양의 목적은 운송 모듈 엔드 이펙터가 기계적 간섭 없이 클러스터 도구의 프로세스 및 카세트 모듈 간에 웨이퍼를 이동할 수 있도록 충분한 세부 정보를 제공하는 것입니다.

이 사양은 클러스터 도구의 전송 모듈 엔드 이펙터에 액세스할 수 있는 프로세스 또는 카세트 모듈 내의 볼륨을 설명합니다. 이 표준은 직경이 100mm에서 최대 200mm인 웨이퍼 크기를 수용하는 모듈로 제한됩니다.

하위 표준(포함)

SEMI E22.1-1015 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스 300mm 사양: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1 — 3인치, 100mm, 125mm 및 150mm 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양

SEMI E21 — 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송

개정 내역

SEMI E22-1015(기술 개정)

SEMI E22-0697(재승인 0309)

SEMI E22-0697(재승인 1102)

SEMI E22-0697(기술 개정)

SEMI E22-91(최초 발행)

SEMI E22.1-1015(기술 개정)

SEMI E22.1-0309(기술 개정)

SEMI E22.1-1296(1102 재승인)

SEMI E22.1-1296(기술 개정)

SEMI E22.1-92(최초 발행)

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