SEMI E26 - 방사형 클러스터 도구 풋프린트 표준 -

Abstract

이 표준은 글로벌 물리적 인터페이스 및 캐리어 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 물리적 인터페이스 및 캐리어 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 2004년 8월 16일 북미 지역 표준 위원회에서 재승인되었습니다. 2004년 11월에 출판될 예정입니다. 원래 1992년에 출판되었습니다. 1999년 6월에 마지막으로 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 2004년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

이 표준의 목적은 서로 다른 공급업체의 모듈을 방사형 클러스터 도구에 통합할 수 있도록 하는 것입니다. 방사형 클러스터 도구에서 인접한 모듈 간의 물리적 간섭을 피하고 클러스터 도구의 모든 모듈에 대한 액세스가 보장되도록 장비 제조업체에 설계 사양을 제공합니다.

종속 문서:

SEMI E26.1-92(1104 철회) - 방사형 클러스터 도구 설치 공간 300mm 표준

참조된 SEMI 표준

SEMI E21 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 기계 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준
SEMI E22 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨 표준
SEMI E25 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 모듈 액세스 가이드라인

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