SEMI E34 - 질량 흐름 장치 제거 및 배송에 대한 안전 지침 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성화 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 안전 가이드라인은 위험 물질에 노출된 질량 흐름 장치를 제거, 운송 및 수령하는 것과 관련된 위험을 줄이기 위한 절차를 제공합니다.

이 안전 가이드라인의 목적은 다음과 같습니다.

• 유해 물질을 취급하는 동안 화학적 부상 및 장비 손상의 위험을 줄이기 위해 제거하기 전에 유해 물질과 함께 사용된 장치를 청소하도록 권장합니다.

• 주황색 태그와 건강 및 안전 공개 양식을 사용하여 이러한 질량 흐름 장치를 적절하게 식별하고 문서화하는 프로세스를 수립합니다.

• 이러한 질량 흐름 장치의 수신자에게 위험에 대해 경고하는 수단을 설정합니다.

이 안전 가이드라인은 유해 물질에 노출된 질량 흐름 장치에 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E34-1110(기술 개정)

SEMI E34-95(최초 발행)

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