SEMI E30.1 - ISEM(특정 장비 모델) 검사 및 검토 사양 -

Abstract

알림: SEMI E30.1은 더 이상 SEMI E30 표준 제품군에 게시되지 않습니다. 자체 페이지에서 별도로 게시 및 판매됩니다.

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 1998년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2009년 3월에 게시되었습니다.

이 표준은 검사 및 검토 장비(ISEM)에 대한 특정 장비 모델(SEM)을 설정합니다. 이 모델은 SEMI E30 기본 요구 사항 및 추가 기능 외에 구현될 장비 특성 및 동작으로 구성됩니다. 이 표준의 의도는 ISEM 장비를 자동화된(반도체 제조) 공장으로 통합하는 것을 용이하게 하는 것입니다. 이 문서는 공장 자동화 컨트롤러에서 볼 수 있는 ISEM 장비의 작동 모델을 정의하여 이를 수행합니다. 이 정의는 표준 호스트 인터페이스 및 장비 작동 동작(예: 제어, 상태 모델, 데이터 보고서 및 보고 수준)을 제공합니다. 몇 가지 주제에는 이 표준 범위 내에 있는 추가 활동이 필요합니다. 기판 패턴 맵; 결함 분류 코드 관리; 데이터 관리를 검토합니다.

이 표준의 범위는 SEMI E30을 준수하는 SEMI 장비 통신 표준 II(SEMI E5/SECS-II) 호스트가 인식하는 검사, 검토 및 검사/검토 장비 동작의 정의로 제한됩니다. SECS 링크를 통해 장비의 외부 보기를 정의합니다. 장비의 내부 작동을 정의하지 않습니다. 이 표준은 처리 상태 모델, 원격 명령, 변수 항목, 경보 및 데이터 수집 영역에서 SEMI E30 요구 사항 및 기능을 확장합니다.

이 표준은 기판에서 발견된 이상 및 결함에 대한 데이터 및 정보를 생성하는 ISEM 장비를 위한 것입니다. 검사 장비는 이상을 발견합니다. 이상 현상은 기판에서 예기치 않거나 비정상적이거나 불일치하거나 일관성이 없는 것으로 판단되는 발생입니다. 이상은 검토 장비를 사용하여 검사할 수 있으며 이때 결함 또는 비결함으로 분류될 수 있습니다. 일부 검사 장비는 생성할 수 있고 일부 검토 장비는 데이터를 조정하여 기판에서 이상을 찾을 수 있습니다. 생성되거나 사용되는 좌표 데이터의 정확도는 장비에 따라 다릅니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습
SEMI M21 — 데카르트 배열의 직사각형 요소에 주소 할당 가이드

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