SEMI E32 - 자재 이동 관리(MMM) -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 1997년 9월 www.semi.org에서 이용 가능; 원래 1994년에 출판되었습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

자동화된 재료 이동은 반도체 제조 자동화의 진화에서 중요한 이정표를 나타냅니다. 이송 프로세스의 표준화는 자재 이동 자동화의 경제적 실행 가능성에 매우 중요합니다. 이 표준은 재료 이동과 관련하여 반도체 제조 시설의 통신 요구 사항을 다룹니다.

이 표준은 반도체 공장 현장에서 자동화된 자재 이동, 즉 한 처리 또는 저장 위치에서 다른 처리 또는 보관 위치로 물체(재료 등 )를 운반하는 작업을 다룹니다. 재료 이동의 개념, 재료 이동과 관련된 장비(이동 장치 포함)의 동작 및 작업을 수행하는 데 필요한 메시징 서비스를 정의합니다.

 

하위 표준:

SEMI E32.1-0997 - 자재 이동을 위한 SECS-II 지원

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

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