SEMI E30 - 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양 -

Abstract

이 사양은 기본 반도체 제조 장비에 대한 SECS-II 메시지의 표준 구현 프레임워크를 정의합니다. 데이터 수집, 경보 관리, 원격 제어, 구성 및 제어에 대한 장비 동작 및 통신 기능의 공통 집합을 정의함으로써 이 표준을 통해 장비 공급업체는 호스트 자동화를 위한 견고한 기반을 제공하는 단일 SECS-II 인터페이스를 개발할 수 있습니다. 또한 장치 제조업체는 공통 산업 프레임워크 내에서 고유한 자동화 솔루션을 구현할 수 있습니다. 이 표준화는 소프트웨어 비용을 줄입니다. 장비 공급업체와 장치 제조업체 모두를 위한 개발 결과적으로 장치 제조업체는 반도체 공장을 더 많이 자동화할 수 있습니다. 빠르고 효과적으로.

알림: SEMI E30.1 및 SEMI E30.5는 더 이상 SEMI E30 표준 제품군에 게시되지 않습니다. 그들은 각각 자체 페이지에서 별도로 게시되고 판매됩니다. SEMI E30.4는 SEMI E82로 재지정되었으며 자체 페이지에서 별도로 게시 및 판매됩니다.

GEM은 모든 반도체 제조 장비에 대한 SECS-II의 표준 구현을 정의합니다. GEM 표준은 다음을 정의합니다.

제공하는 장비 동작 및 통신 기능의 공통 세트 제조 자동화를 지원하는 기능과 유연성 반도체 장치 제조업체의 프로그램. 장비 공급업체는 다음을 제공할 수 있습니다. 추가 SECS-II 기능은 GEM에 포함되지 않습니다. 기능은 동작 또는 기능과 충돌하지 않습니다. GEM에 정의되어 있습니다. 이러한 추가 사항에는 SECS-II 메시지, 수집 이벤트, 알람, 원격 명령, 처리 상태, 변수 데이터 항목(데이터 변수, 상태 변수 또는 장비 상수) 또는 기타 기능 클래스(에처, 스테퍼 등) 또는 특정 인스턴스에 고유한 장비.

GEM은 장치 제조업체와 장비 공급업체 모두에게 경제적 이익을 제공하기 위한 것입니다. 장비 공급업체는 대부분의 고객을 만족시키는 단일 SECS-II 인터페이스를 개발하고 판매할 수 있는 능력으로부터 혜택을 받습니다. 장치 제조업체는 모든 제조 장비에서 SECS-II 인터페이스의 향상된 기능과 표준화를 통해 이점을 얻을 수 있습니다. 이 표준화는 장비 공급업체와 장치 제조업체 모두의 소프트웨어 개발 비용을 줄여줍니다. 비용을 줄이고 기능을 향상함으로써 장치 제조업체는 반도체 공장을 보다 빠르고 효과적으로 자동화할 수 있습니다. GEM 표준이 제공하는 유연성을 통해 장치 제조업체는 공통 산업 프레임워크 내에서 고유한 자동화 솔루션을 구현할 수도 있습니다.

GEM 표준은 다음을 지정하기 위한 것입니다.

• SECS-II 통신 환경에서 반도체 제조 장비에 의해 나타나는 동작 모델,

• 반도체 제조 환경에서 필요한 정보 및 제어 기능에 대한 설명,

• 반도체 제조 장비의 기본 SECS-II 통신 기능에 대한 정의,

• SECS-II가 여러 가능한 방법을 제공할 때 작업을 수행하는 일관된 단일 수단 및

• 유용한 통신 기능을 달성하는 데 필요한 표준 메시지 대화.

GEM 표준에는 두 가지 유형의 요구 사항이 포함되어 있습니다.

• 기본 GEM 요구 사항 및

• 추가 GEM 기능의 요구 사항.

기본 GEM 요구 사항은 GEM 표준의 기초를 형성합니다. 추가 GEM 기능은 일부 유형의 공장 자동화에 필요한 기능 또는 특정 유형의 장비에 적용할 수 있는 기능을 제공합니다. 기본 GEM 요구 사항 및 추가 GEM 기능에 대한 자세한 목록은 § 11, GEM 준수에서 찾을 수 있습니다. 그림 1은 GEM 표준의 구성 요소를 보여줍니다.

장비 공급업체는 고객과 협력하여 특정 유형의 장비에 어떤 추가 GEM 기능을 구현해야 하는지 결정해야 합니다. GEM 표준에 정의된 기능은 반도체 제조업체의 공장 자동화 요구 사항을 충족하기 위해 특별히 개발되었기 때문에 대부분의 장치 제조업체는 특정 유형의 장비에 적용되는 대부분의 GEM 기능을 필요로 할 것으로 예상됩니다. 일부 장치 제조업체는 공장 자동화 전략의 차이로 인해 모든 GEM 기능이 필요하지 않을 수 있습니다.

GEM 표준의 범위는 통신 링크를 통해 볼 때 반도체 장비의 동작을 정의하는 것으로 제한됩니다. SEMI E5(SECS-II) 표준은 호스트와 장비 간에 교환되는 메시지 및 관련 데이터 항목의 정의를 제공합니다. GEM 표준은 어떤 SECS-II 메시지를 사용해야 하는지, 어떤 상황에서 사용해야 하는지, 결과 활동이 무엇이어야 하는지를 정의합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양

SEMI E23 —

카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양

SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스 사양

SEMI E173 — XML SECS-II 메시지 표기법(SMN) 사양

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