SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI E33-0217E - 전류

개정

Abstract

 

이 가이드의 목적은 반도체 장치 제조에 사용되는 제조 장비가 전자기 간섭(EMI)으로 인한 고장 없이 안정적으로 작동하도록 보장하는 데 도움이 되는 권장 사항을 만드는 것입니다. 이 원하는 특성은 일반적으로 전자기 호환성(EMC)으로 알려져 있습니다.

 

이 가이드는 반도체 장치 제조를 목적으로 제작된 장비에 적용됩니다. 장비 유형에는 통신 장비, 제어 장비, 처리 장비, 계측 장비, 검사 장비, 자동화 장비 및 정보 기술 장비가 포함됩니다. 일부 용어는 반도체 설비 및 장비에 특화되어 있습니다.

　

이 가이드의 주요 초점은 반도체 장치 제조에 사용되는 반도체 제조 장비이지만 이 가이드는 관련 제품(예: 평면 패널 디스플레이[FPD], 미세 전자 기계 시스템[MEMS]) 제조에 사용되는 장비에도 적용될 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E78 — 장비의 ESD(정전기 방전) 및 ESA(정전기 끌림) 평가 및 제어 가이드
SEMI F47 — 반도체 공정 장비 전압 강하 내성 사양

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