SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E14700 - SEMI E147 - 機器データ収集 (EDA) のガイド
SEMI E147 - 機器データ収集 (EDA) のガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド
SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14800 - SEMI E148 - 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義
SEMI E148 - 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14800 - SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCKオブジェクト定義の仕様
SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCKオブジェクト定義の仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14900 - SEMI E149 - 製造装置の取得および使用に関する装置サプライヤー提供の文書ガイド
E15000 - SEMI E150 - 機器トレーニングのベストプラクティスに関するガイド
SEMI E150 - 機器トレーニングのベストプラクティスに関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E15100 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド
SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E15100 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド
SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E15200 - SEMI E152 - 150mm EUVLレチクル用EUVポッドの機械仕様
SEMI E152 - 150mm EUVLレチクル用EUVポッドの機械仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E15200 - SEMI E152 - 150 mm EUVL レチクル用 EUV ポッドの機械的特徴の仕様
SEMI E152 - 150 mm EUVL レチクル用 EUV ポッドの機械的特徴の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E15300 - SEMI E153 - AMHS SEMの仕様(AMHS SEM)
SEMI E153 - AMHS SEMの仕様(AMHS SEM) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E15300 - SEMI E153 - AMHS SEM の仕様 (AMHS SEM)
SEMI E153 - AMHS SEM の仕様 (AMHS SEM) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E15400 - SEMI E154 - 450mmロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様
E15400 - SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様
SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
E15600 - SEMI E156 - 450 mm 自動マテリアル ハンドリング システム (AMHS) ストッカーと輸送機器の間の機械的インターフェイスの仕様
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