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SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2009年1月2日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となります。
このガイドの目的は、半導体装置が生成したデータの品質に取り組む場合に使用できる共通の用語と定義を提供することである。処理し、議論することを支援する一連の共通の定義を確立する。
このガイドは以下の項目があります。
データ品質とそれに関連する用語を理解するための解決についての背景と説明。
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様
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