SEMI E152 - 150mm EUVLレチクル用EUVポッドの機械仕様 -

Abstract

本標準は、global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は2009年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org で、 そして2009 年7 月にCD-ROM で入手可能となりました。

本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 m m極紫外線リソグラフィ（ EUVL ）レチクル用EUV ポッドの仕様を記述している。 EUVポッドは、従来のレチクルキャリアがEUVL の要件に適合しない場合に使用する。

SEMI E1.9 — 300mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様

SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)

SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様

SEMI E100 — 6 インチまたは 230mm レチクルを輸送および保管するためのレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様

SEMI P37 — 極端紫外線リソグラフィーマスク基板の仕様

SEMI P38 — 極端紫外線マスクブランク上の吸収フィルムスタックおよび多層の仕様

SEMI P40 — 極端紫外線マスクの取り付け要件と位置合わせ基準位置の仕様

SEMI T16 — 極端紫外線マスクの自動識別のためのデータ マトリックス シンボルの使用に関する仕様

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