SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E15600 - SEMI E156 - 搬送インターフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械の仕様
E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセス追跡の仕様E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセス追跡の仕様
SEMI E157 - モジュールプロセス追跡の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様
SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E15800 - SEMI E158 - 450mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア(450FOUP)とキネマティックカプリングの機械仕様
E15800 - SEMI E158 - 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械的特徴に関する仕様
E15900 - SEMI E159 - 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるマルチ アプリケーション キャリア (MAC) の機械的特徴に関する仕様
E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び、輸送のための多目的キャリア(MAC:Multi Application Carrier)の機械仕様
E16000 - SEMI E160 - データ品質の通信仕様
SEMI E160 - データ品質の通信仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
E16100 - SEMI E161 - トレーニング階層の識別と分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニング階層の識別と分類に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
E16100 - SEMI E161 - トレーニングの明確化および分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニングの明確化および分類に関するガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E16200 - SEMI E162 - 450mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様
E16200 - SEMI E162 - 450 mm フロントオープン配送ボックス ロード ポートのメカニカル インターフェース仕様
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内でのレチクルおよびその他の極めて静電気に敏感な (EES) アイテムの取り扱いに関するガイド
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性(EES:EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE)アイテムの取り扱いのためのガイド
E16400 - SEMI E164 - EDA 共通メタデータの仕様
SEMI E164 - EDA 共通メタデータの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
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