SEMI E156 - 搬送インターフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械の仕様 -

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されています。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org で入手可能となる。

本仕様は、450 FOUPストッカーのロードポートに対する寸法上の要求事項を定義する。本書の目的は、様々なタイプの搬送装置およびストッカー間の物理的なインターフェースを定義する必須の形状と寸法を提供する，工場内での材料取り扱い上のさまざまな要求事項に適合するためにさまざまな自動搬送システムを簡単に使えるようにすることである。 インターフェースの4つのオプションを定義することで実現する。定義されているオプションは以下のとおりである。

・オプションA:能動搬送（能動OHSなど）で内部ストッカーのロードポートに水平にFOUPを移載する。

・オプションB:能動搬送（OHTなど）で，外部ストッカーのロードポートとの間で垂直にFOUPをピック（掬う）またはプレイス（卸す）する。 オプションB の概念図を図2 に示す。

注：オプションB の寸法の要求事項は、 SEMI E154 でカバーしています。

・オプションC:受動搬送（受動OHS 、キャスターなど）で、ストッカーのポート位置とその間でFOUPを搬送する。 FOUPドアはストッカーに平行である。図3 にオプションC を示す。

・オプションD :受動搬送（バスケットなど）で、内部ストッカーのポート位置との間でFOUPを搬送する。 FOUPドアはストッカーに平行である。図4 にオプションD を示す。

SEMI E154 — 450 mm ロードポートのメカニカルインターフェース仕様
SEMI E158 — 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械仕様

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