SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

E13800 - SEMI E138 - XML Semiconductor 共通コンポーネントの仕様
SEMI E138 - XML Semiconductor 共通コンポーネントの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13800 - SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使える情報の構成要素のXML表現
SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使える情報の構成要素のXML表現 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E13900 - SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様
SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP)
SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14000 - SEMI E140 - ガス供給システムの所有コスト (COO) メトリクスを計算するためのガイド
E14100 - SEMI E141 - 統合計測学で使用するエリプソメータ装置の仕様ガイド
SEMI E141 - 統合計測学で使用するエリプソメータ装置の仕様ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14200 - SEMI E142 - 基板マッピングの仕様
SEMI E142 - 基板マッピングの仕様 セール価格 Member Price : ¥225
E14200 - SEMI E142 - 基板の仕様
SEMI E142 - 基板の仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法
E14300 - SEMI E143 - 任意の位相角で VSWR 2.0 の 50 Ω 負荷への電力と変動、および負荷への電力変動とスペクトルを測定するための試験方法
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造およびマテリアルハンドリング機器におけるキャリアのRFIDタグとRFIDリーダー間のRFエアインターフェースの仕様
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造装置および材料ハンドリング装置におけるキャリア内のRFIDタグとRFIDリーダの間の無線インターフェースの仕様
E14500 - SEMI E145 - XML における測定単位記号の分類
SEMI E145 - XML における測定単位記号の分類 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14500 - SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類
SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14600 - SEMI E146 - シリコンウェーハの保管および輸送に使用される微小環境からの粒子汚染を測定するための試験方法
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