SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E12400 - SEMI E124 - 総合工場効率(OFE)およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド
E12500 - SEMI E125 - 機器の自己説明書
SEMI E125 - 機器の自己説明書 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12500 - SEMI E125 - 機器自己記述の仕様 (EqSD)
SEMI E125 - 機器自己記述の仕様 (EqSD) セール価格 Member Price : ¥113
E12500 - SEMI E125 - 装置自己記述(EqSD)の仕様
SEMI E125 - 装置自己記述(EqSD)の仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12600 - SEMI E126 - 機器品質情報パラメータの仕様 (EQIP)
SEMI E126 - 機器品質情報パラメータの仕様 (EQIP) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12600 - SEMI E126 - 装置品質情報パラメーター(EQIP)に関する仕様
SEMI E126 - 装置品質情報パラメーター(EQIP)に関する仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12700 - SEMI E127 - 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC)
E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様:概念、挙動、サービス(IMMC)
E12800 - SEMI E128 - XML メッセージ構造の仕様
SEMI E128 - XML メッセージ構造の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12800 - SEMI E128 - XML メッセージに関する構造仕様
SEMI E128 - XML メッセージに関する構造仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12900 - SEMI E129 - 半導体製造施設における静電気の評価と制御に関するガイド
E12900 - SEMI E129 - 半導体製造設備における静電気放電(ESD)の評価と制御へのガイド
E13000 - SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル(PSEM300)に関する仕様
SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル(PSEM300)に関する仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E13000 - SEMI E130 - 300 mm 環境用プローバ特定機器モデルの仕様 (PSEM300)
SEMI E130 - 300 mm 環境用プローバ特定機器モデルの仕様 (PSEM300) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13100 - SEMI E131 - ボルト M を使用した 300 mm ツールへの統合測定モジュール (IMM) の物理インターフェイスの仕様
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