SEMI E125 - 機器の自己説明書 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 12 月 23 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 4 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 7 月に出版されました。以前は 2010 年 7 月に出版されました。

この仕様では、機器サプライヤーが自社の機器から利用できる変数、イベント、例外、および物理的な機器構成の説明を提供できるようにする方法について説明します。この情報をソフトウェア システムで利用できるため、工場の自動化システムに機器を統合するプロセスを支援するツールとして使用できます。

範囲内

この文書は、サプライヤーが自社の機器によって提供される重要なデータ、イベント、および例外を記述するために使用するクラスを指定します。この仕様では、本質的に静的な情報 (つまり、機器の稼働中に動的に変化しない情報) のみについて説明します。この文書は、クライアントがこの情報にアクセスするために使用できるインターフェースも指定します。

この仕様は、データ収集管理に関する SEMI 仕様で定義されているデータ収集インターフェースをサポートするすべての半導体製造装置に適用されます。

範囲外

この仕様は、機器の構成、インターフェース、および利用可能なデータを記述する情報を取得し、この情報を最新の状態に保つために必要な動作以外に、機器に必要な新しい動作を定義しません。

メタデータによって記述できる、基礎となる概念および動作モデル (例: キャリア管理、プロセス/制御ジョブなど) の詳細は、それらの概念専用の文書で個別に指定されます。サプライヤーがそのような概念を実装していること、およびクライアントがこの実装と生成できるデータを発見できるという事実を説明できることのみが、この仕様の範囲内です。

この仕様は、機器によって提供されるメタデータが人間が直接判読できるものであることを要求しません。アプリケーションは、エンド ユーザーが理解しやすい形式でこの情報を整理し、人間のユーザーに提示するように作成されることが期待されています。

下位文書:

SEMI E125.1-0414 - E QUIPMENT SELF DESCRIPTION(EqSD) のSOAP 바인딩 규격

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 —オブジェクトサービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E120—共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E120.1 — 共通機器モデルの XML スキーマ
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
SEMI E128 — XML メッセージングの仕様
SEMI E132.1 — 機器クライアントの認証および認可の SOAP バインディングに関する仕様
SEMI E138 — XML 半導体共通コンポーネント
SEMI E145 — XML における測定単位記号の分類

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