SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様 -

Abstract

本基準は、global Information & Control Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 org で入手可能となる。 初版は2003年11 月発行、前版は2004 年11 月発行。

本書は300mm標準化のためのグローバルジョイントガイダンスに則った工場に展開されるプロービング装置用のプローバ専用装置モデル（ PSEM300 ） を策定するものである。かつ実現が必要とされる挙動で構成される。本書は自動化された半導体工場へのプロービング装置の統合を促進することである。本書はこれをホスト視点のプロービング装置動作モデルの定義をすることにより実現するものである。本書は標準のホストインターフェースと装置の動作の挙動を規定する。

下位文書:

SEMI E130.1-1104 (再承認0710) - 300mm 環境のプローバ専用装置モデル（ PSEM300 ）のSECS-II プロトコル仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI G81 — 地図データ項目の仕様
SEMI G85 — 地図データ形式の仕様
SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てる仕様

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