SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E11700 - SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様
SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E11800 - SEMI E118 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェースの仕様 -- ウェーハ ID リーダーの機能標準: 概念、動作、およびサービス
E11800 - SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能基本: 概念,動作,サービス
E11900 - SEMI E119 - 300mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス(FOBIT)の機械仕様
E11900 - SEMI E119 - 300 mm ウェーハの工場間輸送用の縮小ピッチフロントオープンボックスの機械仕様
E12000 - SEMI E120 - 一般的な機器モデル
SEMI E120 - 一般的な機器モデル セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12000 - SEMI E120 - 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E120 - 共通機器モデル (CEM) の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E12000 - SEMI E120 - 共通装置モデル(CEM)の仕様
SEMI E120 - 共通装置モデル(CEM)の仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12100 - SEMI E121 - 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
E12100 - SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド
SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12200 - SEMI E122 - テスター機器固有機器モデル (TSEM) の仕様
SEMI E122 - テスター機器固有機器モデル (TSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12200 - SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル(TSEM)の基準
SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル(TSEM)の基準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12300 - SEMI E123 - ハンドラー機器固有機器モデル (HSEM) の仕様
SEMI E123 - ハンドラー機器固有機器モデル (HSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12300 - SEMI E123 - ハンドラ装置の特定装置モデル(HSEM)の基準
SEMI E123 - ハンドラ装置の特定装置モデル(HSEM)の基準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12400 - SEMI E124 - 工場全体効率 (OFE) およびその他の関連する工場レベルの生産性指標の定義と計算に関するガイド
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