SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル(OBEM)暫定基準
SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル(OBEM)暫定基準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09900 - SEMI E99 - キャリアIDリーダー/ライターの仕様
SEMI E99 - キャリアIDリーダー/ライターの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E09900 - SEMI E99 - キャリアIDリーダ/ライタ機能標準:コンセプト、挙動、およびサービスに関する仕様
E10000 - SEMI E100 - 6インチまたは230 mmのレチクルの搬送および保管に用いられるレチクルSMIFポッド(RSP)の仕様
E10000 - SEMI E100 - 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド
SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E10100 - SEMI E101 - EFEM 機能構造モデルのガイド
SEMI E101 - EFEM 機能構造モデルのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・フォールトコンポーネントに関する暫定仕様
E10200 - SEMI E102 - CIM フレームワークの材料輸送および保管コンポーネントの暫定仕様
E10300 - SEMI E103 - FOUPをエミュレートする300 mm枚葉ボックスシステムの機械仕様
E10400 - SEMI E104 - 低圧粒子モニターの統合仕様および校正ガイドライン
SEMI E104 - 低圧粒子モニターの統合仕様および校正ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様
E10500 - SEMI E105 - CIM フレームワーク スケジューリング コンポーネントの暫定仕様
E10600 - SEMI E106 - 300 mm物理的インタフェースおよびキャリアに関するSEMI基準オーバービューガイド
E10600 - SEMI E106 - 300 mm ウェーハの物理インターフェイスおよびキャリアに関する SEMI 規格の概要ガイド
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