SEMI E99 - キャリアIDリーダ／ライタ機能標準：コンセプト、挙動、およびサービスに関する仕様 -

Abstract

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キャリアIDリーダ／ ライタ機能標準作業の目的はキャリアIDリーダおよびキャリアIDリーダ／ライタが上位コントローラに提供するコンセプト、挙動、およびサービス（機能）に関する共通仕様を提供することである。 リーダ／ライタの互換性を上げるので、ユーザーおよびデバイス供給ヤの選択の範囲が広がることになります。

キャリアIDリーダ／ライタインタフェース標準は上位コントローラを持っているものを含むキャリアIDリーダ／ライタインタフェースに関する機能的な要求条件を扱います。

本仕様にはキャリアID リーダおよびキャリアID リーダ／ライタの両方に要求される挙動および通信が含まれる。

本仕様ではキャリアID リーダあるいはリーダ／ライタが送信する非同期メッセージを要求、定義、あるいは禁止しません。

下位標準（付属）

SEMI E99-1104 (再承認0710) — キャリアID リーダ／ライタ機能標準のためのSECS-I およびSECS-II プロトコル仕様

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E1.9 — 使用されるカセットの機械的仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E30 — 通信および制御のための汎用モデル 製造装置（GEM）

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、 とサービス

SEMI E47.1 — ボックスおよびポッドの機械仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管に使用

SEMI E62 — 300 mm フロントオープンインターフェイスの仕様 機械規格 (FIMS)

SEMI E87 — 仕様 キャリア管理 (CMS)

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