SEMI E99 - キャリアIDリーダー/ライターの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2000 年 2 月。以前は 2010 年 7 月に出版されました。

Carrier ID Reader/Writer Functional Standard の取り組みの目的は、Carrier ID Reader および Carrier ID Reader/Writer によって上流のコントローラーに提供される概念、動作、サービス (機能) の共通仕様を提供することです。標準インターフェイスにより、Carrier ID Reader/Writer の互換性が向上し、ユーザーと機器サプライヤーの選択肢が広がります。

キャリア ID リーダー/ライター インターフェイス標準は、アップストリーム コントローラーとの汎用キャリア ID リーダー/ライター インターフェイスの機能要件に対処します。<br>この仕様には、キャリア ID リーダーとキャリア ID リーダー/ライターの両方に必要な動作と必要な通信が含まれています。 <br>この仕様は、Carrier ID Reader または Reader/Writer によって送信される非同期メッセージを要求、定義、または禁止するものではありません。

下位標準

SEMI E99.1-0317 — キャリア ID リーダー/ライターの SECS-I および SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

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