SEMI E106 - 300 mm ウェーハの物理インターフェイスおよびキャリアに関する SEMI 規格の概要ガイド -

Abstract

この規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 4 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。最初は 2010 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 10 月に出版されました。この文書は SEMI PR6-0200 を完全に置き換えるものです。

注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。

この文書は、300 mm キャリアおよび生産装置のユーザーおよびサプライヤーが、300 mm 物理インターフェイスおよびキャリアに関する SEMI 規格間の複雑な相互依存関係を理解し​​、どの規格がどの製品に適用されるかを決定するのに役立つことを目的としています。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E21.1 — クラスターツールモジュールインターフェイス 300 mm: 機械インターフェイスおよびウェーハ搬送標準
SEMI E22.1 — クラスターツールモジュールインターフェース 300 mm: トランスポートモジュールエンドエフェクター除外容積標準
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E25 — クラスタツールモジュールインターフェース: モジュールアクセスガイドライン
SEMI E26.1 — ラジアル クラスター ツール フットプリント 300 mm 標準
SEMI E45 — 気相分解-全反射 X 線分光法 (VPD-TXRF)、VPD-原子吸光分析法 (VPD-AAS)、または VPD/誘導結合プラズマ質量分析法を使用した、微小環境からの無機汚染の測定のための試験方法(VPD/ICP-MS)
SEMI E46 — イオン移動度分析法 (IMS) を使用した微小環境からの有機汚染の測定のための試験方法
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm 前開きインターフェース機械規格 (FIMS) の暫定仕様
SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様
SEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様
SEMI E70 — 工具適応プロセスのガイド
SEMI E72 — 300 mm の機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E82 — ベイ間/ベイ内 AMHS SEM (IBSEM) の仕様
SEMI E83 — 300 mm PGV 機械式ドッキング フランジの仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E85 — 物理 AMHS ストッカからベイ間搬送システムへの相互運用性の仕様
SEMI E92 — ツール相互運用性規格 (BOLTS/Light) に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー/ローダーの仕様)
SEMI E99 — キャリア ID リーダー/ライター機能標準: 概念、動作、およびサービスの仕様
SEMI E99.1 — キャリア ID リーダー/ライター機能規格の SECS-I および SECS-II プロトコルの仕様
SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
SEMI E101 — EFEM 機能構造モデルのガイド
SEMI E103 — FOUPをエミュレートする300 mm枚葉ボックスシステムの暫定機械仕様
SEMI G74 — 300 mm ウェーハ用テープフレームの仕様
SEMI G77 — 300 mm ウェーハ用フレームカセットの仕様
SEMI M1.15 — 300 mm 研磨単結晶シリコンウェーハ (ノッチ付き) の標準
SEMI M8 — 研磨単結晶シリコンテストウェーハの仕様
SEMI M28 — 開発中の直径 300 mm 研磨単結晶シリコン ウェーハの仕様
SEMI M29 — 300 mm 配送ボックスの仕様
SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの暫定機械仕様
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S11 — 半導体製造装置のミニ環境に関する環境、安全、および健康に関するガイドライン

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