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SEMI E103 - FOUPをエミュレートする300 mm枚葉ボックスシステムの機械仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 8 月 27 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。最初は 2010 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2004 年 7 月に出版されました。
注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。
この規格は、プロセスまたは計測機器上の FIMS インターフェイスを備えたロード ポート (またはバッファ) との間の機械的インターフェイスのキャリア側と、1 枚のウエハ (テスト ウエハなど) のみを保持しアダプタに適合するボックスを含むシステムを指定します。シングルウェーハインターフェイス（SWIF）と呼ばれるメカニズム。このシステムは、装置にとっては 300 mm FOUP であるように見えます (ただし、中央のウェーハの周囲の容積のみがアクセス可能である場合があります)。
参照されるSEMI規格SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様
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