SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様 -

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces and Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org で入手可能となる可能性があります。 初版は2002年11 月発行、前版は2004 年11 月発行。

この仕様は，レチクルストッカー，リソー露光機器，レチクル検査装置のレチクルロードポートの寸法の要求条件およびオプションを定義する。 使いやすく、手動ロード装置の人間工学の要求条件を満たすことを目的としています。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19.3 — 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)、150 mm (6 インチ) ポートの仕様
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E72 — 300 mm の機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
SEMI E111 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の機械仕様
SEMI E112 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) の機械仕様

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