SEMI E123 - ハンドラ装置の特定装置モデル（HSEM）の基準 -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2009年9月4日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2009年11月にCD- ROMで入手可能となりました。初版は2003年3月発行、前版は2003年7月に発行されました。

注意： SEMI E123は2003年7月にサブドキュメントSEMIE123.1が出版されたため改訂年月に更新されました。

本書では、ハンドリング装置（ HSEM ）の特定の装置モデル（SEM）を確立する。 SEM は、このクラスの装置に適用される装置特性および挙動から把握する。本書は，ファクトリオートメーションコントローラの視点から見たハン​​ドリング装置の動作モデルを定義することによって,その目的を達成している。標準的なホストとデバイスの動作挙動を提供します。

本書の範囲は、ホストから見たハン​​ドリング装置の定義に限定される。 装置通信インタフェースから見た装置のビューを定義する。 装置の内部動作は定義しない。装置の挙動の基礎としての独自のプロセシング状態モデルが含まれる。

本書は、プロセシング状態モデル、収集イベント、アラームの文書化、リモートコマンド、変数項目、プロセスプログラム管理の領域で、ハンドラ装置の要求条件および機能を拡張しています。

下位文書:

SEMI E123.1-0703 (再承認 1109) - ハンドラ特定装置モデル（ HSEM ）のSECS-IIプロトコル仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス

SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)

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