Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 org で入手可能となる。初版は2003年7 月発行、前版は2010 年3 月に発行された。

本仕様は、装置に存在する参照し得る変数、イベント、例外事象、物理的な装置の構成を示した記述を供給ヤが提供できるようにする方法を説明するものである。このような情報により，工場の自動システムに装置を統合する過程で手助けするための一具として使えるものである。

下位文書:

SEMI E125.1-0710 - 装置自己記述（ EqSD ）のためのSOAP バインディングの仕様

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E120.1 — 共通機器モデルの XML スキーマ
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
SEMI E128 — XML メッセージングの仕様
SEMI E132.1 — 機器クライアントの認証および認可の SOAP バインディングに関する仕様
SEMI E138 — XML 半導体共通コンポーネント
SEMI E145 — XML における測定単位記号の分類

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