SEMI E142 - 基板の仕様 -

Abstract

注意： SEMI E142.1、SEMI E142.2、 およびSEMI E142.3 の改訂を反映して、 0211 の出版サイクルにて、 SEMI E142 の出版年月が改訂された。

ウェーハ、フレーム、ストリップ（短冊状下）、トレーラーなどの基板のマップデータを報告、保存、航行時に必要なデータ項目を本書は定義するものである。

下位標準（付属）

SEMI E142.1-0211 — 基板選び用のXML スキーマ

SEMI E142.2-0211 — 基板優先用SECS II プロトコル

SEMI E142.3-0211 — 基板選び向けWeb サービス

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ 内容（SECS-Ⅱ）

SEMI E30 — 通信および制御のための汎用モデル 製造装置 (GEM) – イベント データ収集と動的イベント レポート 構成

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準。コンセプトや行動、 サービス

SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準の SECS II プロトコル (OSS)

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

SEMI E121 — XML のスタイルと使用法に関するガイド 半導体製造アプリケーション

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