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SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2006年3月発行。
現在のSEMI基準に拡張可能マークアップ言語（ XML ）表記法を含めることは、XML技術に対する関心が業界で意識していることを反映している。 システム（ SI ）で定義された単位に定める，半導体産業のためのXMLによる測定単位の記号表記を定義する。その目的は，半導体産業に共通単位を表す連続の標準記号を規定し，共通規則を用いた標準手法に基づいて他の記号を追加するための仕組みを示すことである。
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E6 — 機器半導体設置マニュアルのガイド
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
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