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SEMI E153 - AMHS SEMの仕様（AMHS SEM） -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年1月20日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 orgで入手可能となる。初版は2009年11月に発行された。
本スタンダードはAMHSの個別装置モデル（SEM ）を確立するものである（AMHS SEM ）。モデルは装置特性および動作で構成されており、それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能とともに実装される予定本書では工場自動化ソケット（ホスト）から見たAMHS SEM準拠の搬送装置の運用モデルを定義して継続を実現している。ここでは標準化されたホストインターフェースおよび搬送装置の運用動作（コントロール、状態モデル、データ報告、報告レベルなど）が定義されている。スタンダードの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。および搬送単位の配送などである。
本基準の範囲は（§11に規定している）GEMモデルに準拠するSEMI装置通信基準2（SECS-II）によってホストが認識する，搬送または保管または搬送と保管の両方の視点を行うサポート資料搬送保管装置の使用法および説明に限定されている。本基準はSECS通信リンク幼児装置がどのように見えるか定義しているが、装置の内部動作は定義していない。の装置すべての基準として個別TRANSFERコマンド状態モデルおよび搬送システムストレージ（TSSC ）状態モデルが含まれています。
本書では（ §11 に規定されている）GEM 基本要求および追加選択性能は AMHS SEM 準拠の転送装置にすでに実装されているものとブレンド。モデル），収集イベント，アラームドキュメント，リモートコマンド，変数データアイテム，および材料搬送の領域でGEM標準要求および性能が拡張されている。
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
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