SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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F06800 - SEMI F68 - 정수기 효율 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F68 - 정수기 효율 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F06900 - SEMI F69 - 가스 전달 시스템의 운송 및 충격 테스트를 위한 테스트 방법
SEMI F69 - 가스 전달 시스템의 운송 및 충격 테스트를 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F07000 - SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F07100 - SEMI F71 - 가스 전달 시스템의 온도 사이클 테스트 방법
SEMI F71 - 가스 전달 시스템의 온도 사이클 테스트 방법 정상 가격₩451,000 KRW 할인 가격₩291,000 KRW
F07200 - SEMI F72 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 산화물층에 대한 AES(Auger Electron Spectroscopy) 평가를 위한 테스트 방법
F07300 - SEMI F73 - 스테인리스 스틸 구성 요소의 젖은 표면 상태에 대한 주사 전자 현미경(SEM) 평가를 위한 테스트 방법
F07400 - SEMI F74 - 가스 전달 시스템에 사용하기 위한 금속 씰 디자인의 성능 및 평가를 위한 테스트 방법
F07500 - SEMI F75 - 반도체 제조에 사용되는 초순수 품질 모니터링 가이드
SEMI F75 - 반도체 제조에 사용되는 초순수 품질 모니터링 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F07600 - SEMI F76 - 부식성 가스에 노출된 가스 시스템 구성 요소의 입자 기여 평가를 위한 테스트 방법
F07700 - SEMI F77 - 부식성 가스 시스템에 사용되는 스테인리스강 표면의 전기화학적 임계 공식 온도 테스트를 위한 테스트 방법
F07800 - SEMI F78 - 반도체 제조 응용 분야에서 유체 분배 시스템의 가스 텅스텐 아크(GTA) 용접 실습
F07900 - SEMI F79 - 가스 분배 부품에 사용되는 실리콘과의 가스 호환성 가이드
SEMI F79 - 가스 분배 부품에 사용되는 실리콘과의 가스 호환성 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F08000 - SEMI F80 - 가스 전달 시스템의 가스 변화/퍼지 효율 측정을 위한 테스트 방법
F08100 - SEMI F81 - 반도체 제조 응용 분야의 유체 분배 시스템에서 가스 텅스텐 아크(GTA) 용접의 육안 검사 및 승인에 대한 사양
F08200 - SEMI F82 - Specification for Dimension of Mass Flow Controller/Mass Flow Meter for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
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