SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F08900 - SEMI F89 - 1.5인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 질량 유량계 및 질량 유량계 치수 사양
F09000 - SEMI F90 - 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 표준 크기 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외) 치수 사양
F09100 - SEMI F91 - 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 크기 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F09200 - SEMI F92 - 1.5인치 유형의 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 크기 3포트 구성 요소 치수 사양
F09300 - SEMI F93 - 1.5인치 유형 4개 패스너 구성 표면 실장 가스 분배 시스템용 단일 포트 구성 요소의 치수 사양
F09400 - SEMI F94 - 1.5인치 4개 패스너 구성 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F09500 - SEMI F95 - Specification for Dimension of Three Port Components for 1.5 Inch Four Fastener Configuration Type Surface Mount Gas Distribution Systems
F09600 - SEMI F96 - CVD 전구체를 포함하는 캐니스터의 포트 구성 사양
SEMI F96 - CVD 전구체를 포함하는 캐니스터의 포트 구성 사양 정상 가격₩425,000 KRW 할인 가격₩241,000 KRW
F09700 - SEMI F97 - 시설 패키지 통합, 모니터링 및 제어 사양
SEMI F97 - 시설 패키지 통합, 모니터링 및 제어 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩241,000
F09800 - SEMI F98 - 반도체 공정에서 재사용수 처리 가이드
SEMI F98 - 반도체 공정에서 재사용수 처리 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩241,000
F09900 - SEMI F99 - 메트릭 PFA 튜브용 다이어프램 밸브의 치수 사양
SEMI F99 - 메트릭 PFA 튜브용 다이어프램 밸브의 치수 사양 정상 가격₩425,000 KRW 할인 가격₩241,000 KRW
F10000 - SEMI F100 - Compliance Test Method for Minimum Flow Coefficient of Diaphragm Valve for Metric PFA Tube
F10100 - SEMI F101 - 가스 분배 시스템에서 압력 조절기 성능을 결정하기 위한 테스트 방법
F102000 - SEMI F102 - 표면 실장 가스 분배 시스템용 부품 치수에 대한 사양 선택 가이드
F10300 - SEMI F103 - Specification for Size Ranges of Stainless Steel Canisters to Contain Liquid Chemicals
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