SEMI F80 - 가스 전달 시스템의 가스 변화/퍼지 효율 측정을 위한 테스트 방법 -

개정: SEMI F80-0309(0914 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 문서는 가스 전달 시스템의 가스 변경/퍼지 효율을 결정하기 위한 테스트 방법에 대한 가이드입니다.

　

기존의 금속 표면 밀봉 및 표면 장착 가스 전달 시스템을 모두 다룹니다.

　

이 테스트 방법은 반도체 제조 시설 및 유사한 연구 및 개발 분야에서 사용되는 모든 유형의 고순도 가스 전달 시스템에 적용됩니다.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Customer Reviews

Be the first to write a review
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)

You May also Like