SEMI F77 - 부식성 가스 시스템에 사용되는 스테인리스강 표면의 전기화학적 임계 공식 온도 테스트를 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2015년 5월 19일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 9월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2003년 7월에 출판되었습니다. 이전에 2010년 3월에 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 2015년에 완전히 재작성되었습니다.

이 테스트 방법의 목적은 반도체 제조를 위한 부식성 가스 분배 시스템에 사용하도록 의도된 부품의 젖은 표면의 피팅 부식에 대한 상대적 저항을 결정하는 것입니다. 이 테스트 방법은 ASTM G150을 채택한 것이며 젖은 표면의 부식 성능에 영향을 미칠 수 있는 합금 구성 또는 프로세스를 구분하기 위한 것입니다.

방법에 대한 자세한 정보는 ASTM G150에서 찾을 수 있으며 사용자는 이 테스트 방법을 적용하기 위해 ASTM G150 사본을 가지고 있는 것이 좋습니다.

이 테스트 방법은 부식성 가스 시스템에 사용하기 위한 대표적인 마감 표면의 튜빙 또는 테스트 쿠폰의 젖은 표면의 피팅 부식 저항성을 평가하는 데 사용되는 전기화학적 임계 공식 온도(CPT)를 기반으로 하는 절차를 설명합니다. 피팅 부식은 특히 부식성 가스 및 습기에 노출되고 용접된 부품 및 튜브에서 반도체 가스 전달 시스템의 주요 부식 실패 모드인 것으로 여겨집니다.

이 테스트 방법은 ASTM G150을 적용한 것입니다. 적응은 튜빙과 같은 가스 공급 시스템 구성 요소에서 잘라낸 쿠폰 또는 젖은 표면 섹션에서 테스트 방법을 수행하는 방법을 설명합니다. 수침법입니다.

이 테스트 방법은 재현 가능하며 내식성의 정성적(시각적) 평가와 함께 미터법(CPT)을 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양

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