SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F09800 - SEMI F98 - 반도체 공정에서 재사용수 처리 가이드
F09900 - SEMI F99 - 메트릭 PFA 튜브용 다이어프램 밸브의 치수 사양
SEMI F99 - 메트릭 PFA 튜브용 다이어프램 밸브의 치수 사양 정상 가격₩451,000 KRW 할인 가격₩291,000 KRW
F10000 - SEMI F100 - Compliance Test Method for Minimum Flow Coefficient of Diaphragm Valve for Metric PFA Tube
F10100 - SEMI F101 - 가스 분배 시스템에서 압력 조절기 성능을 결정하기 위한 테스트 방법
F102000 - SEMI F102 - 표면 실장 가스 분배 시스템용 부품 치수에 대한 사양 선택 가이드
F10300 - SEMI F103 - Specification for Size Ranges of Stainless Steel Canisters to Contain Liquid Chemicals
F10400 - SEMI F104 - 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 구성 요소의 입자 기여 평가를 위한 테스트 방법
F10500 - SEMI F105 - 가스 분배 시스템의 금속 재료 호환성 가이드
SEMI F105 - 가스 분배 시스템의 금속 재료 호환성 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F10600 - SEMI F106 - Test Method for Determination of Leak Integrity of Gas Delivery Systems by Helium Leak Detector
F10700 - SEMI F107 - 공정 장비 어댑터 플레이트용 가이드
SEMI F107 - 공정 장비 어댑터 플레이트용 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F10800 - SEMI F108 - 반도체, 평면 패널 디스플레이 및 태양광 전지 제조 응용 분야를 위한 액체 화학 배관 부품의 통합 가이드
F10900 - SEMI F109 - 히터 시스템 요구사항 가이드
SEMI F109 - 히터 시스템 요구사항 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F11000 - SEMI F110 - 액체 필터의 단분산 폴리스티렌 라텍스(PSL) 문제에 대한 테스트 방법
F11100 - SEMI F111 - 장비 팬 필터 장치(EFFU) 입자 제거 테스트 방법
SEMI F111 - 장비 팬 필터 장치(EFFU) 입자 제거 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F11200 - SEMI F112 - Cavity Ring Down Spectroscopy(CRDS)에 의한 표면 장착 및 기존 가스 전달 시스템의 수분 건조 특성 측정을 위한 테스트 방법
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