SEMI F110 - 액체 필터의 단분산 폴리스티렌 라텍스(PSL) 문제에 대한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2018년 2월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 2012년 7월에 출판되었습니다.

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이 문서는 액체 필터의 단일 분산 폴리스티렌 라텍스(PSL)에 대한 테스트 방법을 제공합니다.

이 문서는 50~200nm 정격 액체 필터에 대한 단분산 PSL 입자 챌린지 테스트 방법을 다룹니다.

이 문서는 단분산 PSL 챌린지 테스트에 대한 테스트 조건을 정의합니다.

이 문서에서 다루는 영역은 다음과 같습니다.

• 유체, 유속, 압력, PSL 농도, 멤브레인 처리 등과 같은 테스트 조건.

• 평가된 필터 유형.

• PSL 유형(참조 자료).

• 흡착 효과 감소를 위한 시험 전 막 처리 방법.

• 테스트 결과에 대한 설명.

참조된 SEMI 표준

SEMI F63 — 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드

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