SEMI F105 - 가스 분배 시스템의 금속 재료 호환성 가이드 -

Abstract

이 가이드의 목적은 금속 재료와 반도체 공정 가스의 업계 허용 호환성을 문서화하는 것입니다.

이 가이드는 반도체 제조 장비의 가스 분배 시스템 내에서 공정 가스에 노출되는 금속 재료에 적용됩니다. 고압, 벌크 전달 시스템에는 적용할 수 없습니다.

이 가이드는 고순도 및 초고순도 화학 물질 전달 시스템에만 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양
SEMI F20 — 범용, 고순도 및 초고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품, 압출 성형품, 플레이트 및 튜브 사양

개정 내역
SEMI F105-0914(재승인 0922)
SEMI F105-0914(기술 개정)
SEMI F105-0314(기술 개정)
SEMI F105-0708(기술 개정)
SEMI F105-1107(초판)

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