SEMI F99 - 메트릭 PFA 튜브용 다이어프램 밸브의 치수 사양 -

Abstract

이 사양은 Global Liquid Chemicals Committee의 기술 승인을 받았습니다. 이 판은 2005년 3월 11일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2005년 6월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 반도체 및 평판 디스플레이 제조를 위한 액체 화학물 분배 시설 및 공정 장비에서 메트릭 테트라플루오로에틸렌 퍼플루오로알킬비닐에테르(PFA) 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 외부 치수를 지정합니다.

이 사양은 대면 치수를 제외하고 메트릭 PFA 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 치수를 다룹니다. 밸브에 적용되는 피팅의 시즈가 많기 때문에 이 문서에서는 대면 치수를 지정하지 않습니다.

이러한 다이어프램 밸브는 공압식 밸브로 제한됩니다. 매뉴얼 밸브에 대한 사양은 필요에 따라 별도로 제공되어야 합니다.

이 다이어프램 밸브는 반도체 및 평판 디스플레이 제조용 화학 물질 분배 시스템에 사용됩니다.

밸브는 내부식성이 높고 유체에 대한 오염 기여도가 낮은 테트라플루오로에틸렌(PTFE) 또는 PFA와 같은 재료로 만들어집니다.

밸브는 최대 0.2MPa[제곱인치당 29파운드(psi)] 배압을 견딥니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F65 — 메트릭 PFA 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 마운팅 베이스에 대한 치수 사양

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