SEMI F101 - 가스 분배 시스템에서 압력 조절기 성능을 결정하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 8월 17일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 10월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2005년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2017년 10월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 가스 시스템에 설치하기 위해 고려 중인 압력 조절기를 테스트하는 방법을 정의하는 것입니다. 이 테스트 방법을 적용하면 인증 목적으로 테스트된 규제 기관 간에 비교 가능한 데이터가 생성될 것으로 예상됩니다.

이 문서는 레귤레이터 성능 특성을 정량화하기 위한 테스트 방법을 설정합니다.

이 테스트 방법은 압력 조절기에 적용됩니다. 이러한 특성을 측정하는 테스트 절차는 아래 주어진 순서대로 순차적으로 수행됩니다. 이 문서는 조절기 제조업체 또는 사용자가 다음 특성에 대한 조절기 성능을 결정할 수 있도록 하는 테스트 방법을 지정합니다.

• 입자 수

• 누출

• 크립/락업

• 공급 압력 효과

• 해결

• 압력 대 흐름 곡선, 히스테리시스 곡선 및 작동 히스테리시스 값

• 반복성

• 설정압력 안정성

• 단계 함수 과도 응답

• 공명

• 흐름 계수

• 과도한 압력

• 지구력

이 테스트 방법은 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F32 — 고순도 차단 밸브의 유량 계수 결정을 위한 테스트 방법

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