SEMI F102 - 표면 실장 가스 분배 시스템용 부품 치수에 대한 사양 선택 가이드 -

Abstract

이 표준은 시설 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2013년 5월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2013년 5월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2006년 3월에 출판되었습니다.

이 표준은 "표면 장착 가스 분배 시스템용 구성 요소의 치수에 대한 사양"을 선택하기 위한 가이드를 설정합니다.

이 표준은 "표면 실장형 가스 분배 시스템용 부품 치수 규격"(SEMI F82, SEMI F83, SEMI F84, SEMI F85, SEMI F86, SEMI F87, SEMI F88, SEMI F89, SEMI F90, SEMI F91, SEMI F92)에 적용됩니다. , SEMI F93, SEMI F94 및 SEMI F95).

참조된 SEMI 표준

SEMI F82 — 1.125인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 질량 유량 컨트롤러/질량 유량계 치수 사양
SEMI F83 — 1.125인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수에 대한 사양
SEMI F84 — 1.125인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 3포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
SEMI F85 — 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 실장 가스 분배 시스템용 단일 포트 구성 요소의 치수 사양
SEMI F86 — 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
SEMI F87 — 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 실장 가스 분배 시스템용 3포트 부품(MFC/MFM 제외) 치수 사양
SEMI F88 — 1.5인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 표준 크기 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 치수 사양
SEMI F89 — 1.5인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 치수 사양
SEMI F90 — 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 표준 크기 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외) 치수 사양
SEMI F91 — 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 소형 크기 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외) 치수 사양
SEMI F92 — 1.5인치 유형 2개 패스너 구성 표면 실장 가스 분배 시스템용 소형 크기 3포트 구성 요소 치수 사양
SEMI F93 — 1.5인치 유형 4개 패스너 구성 표면 실장 가스 분배 시스템용 단일 포트 구성 요소의 치수 사양
SEMI F94 — 1.5인치 4개 패스너 구성 유형 표면 실장 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
SEMI F95 — 1.5인치 4개 패스너 구성 유형 표면 실장 가스 분배 시스템용 3포트 부품 치수 사양

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