SEMI F111 - 장비 팬 필터 장치(EFFU) 입자 제거 테스트 방법 -

Abstract

이 테스트 방법은 장비 내부에 설치된 장비 팬 필터 장치(EFFU)의 입자 제거 특성을 측정하는 절차를 다룹니다.

　

EFFU는 입자 필터, 팬 및 모터의 조립품이므로 이러한 부품의 무결성은 EFFU의 성능에 매우 중요합니다. 따라서 입자 필터에 대한 기존의 입자 제거 테스트 방법은 EFFU 입자 제거 성능을 평가하는 데 적합하지 않습니다.

　

이 시험방법은 공정 장비 내부에서 발생하는 파티클을 제거하기 위해 밀폐된 공간 내부에 설치되는 EFFU에 대한 평가 방법을 정의합니다. EFFU의 파티클 제거 성능은 일반적으로 필터 매체의 성능과 공기 유량에 따라 달라집니다. EFFU의 성능을 이해하기 위해서는 여과재 특성, 공기유량, EFFU 부품의 건전성을 동시에 고려해야 합니다. 이 테스트 방법은 EFFU의 시스템 성능을 입증하기 위한 것입니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI F38 — 사용 지점 가스 필터의 효율성 검증을 위한 테스트 방법

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