SEMI F112 - Cavity Ring Down Spectroscopy(CRDS)에 의한 표면 장착 및 기존 가스 전달 시스템의 수분 건조 특성 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 문서는 다음 절차를 설명합니다. 수분 건조 특성 결정(제거 가능한 양 수분) 표면 실장(통합 가스 전달 시스템) 및 기존 Cavity Ring Down spectroscopy (CRDS) 분석기를 사용하는 가스 전달 시스템.

 

이 테스트의 결과는 설계에 따른 가스 공급 시스템 의 정성적 순위에 사용될 수 있습니다. 그것은 또한 충분히 정교한 사람에 의해 사용될 수 있습니다 가스 분배 시스템 거동의 수치 시뮬레이션을 위한 입력으로 사용자.

　

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양 

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