SEMI F109 - 히터 시스템 요구사항 가이드 -

Abstract

이 표준은 글로벌 가스 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 12월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2012년 2월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

이 가이드의 목적은 균일한 히터 시스템 요구 사항을 문서화하기 위한 프레임워크를 정의하는 것입니다. 이 문서의 의도된 용도는 히터 시스템 제조업체가 주문형 히터 요청자에게 전달하는 일반적인 양식 역할을 하는 것입니다.

이 문서의 의도된 용도는 맞춤형 히터 시스템의 신속한 설계, 개발, 테스트 및 제조를 지원하기 위한 균일한 기술 정의 세트를 제공하는 것입니다. 이 문서는 반도체, 평면 패널, 태양열 및 관련 산업에서 사용되는 모든 유형의 저항성 전기 히터 시스템에 적용됩니다.

이 문서에서는 전기 사양, 열 부하, 케이블 연결, 환경 고려 사항, 성능, 작동 요구 사항, 제어 시스템 사양 사양, 정보 교환, 패키징 및 테스트 측면에 대해 설명합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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