SEMI F107 - 공정 장비 어댑터 플레이트용 가이드 -

Abstract

이 표준은 글로벌 시설 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 2008년 5월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2009년 2월 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

공정 장비 어댑터 플레이트 가이드의 목적은 공정 장비 어댑터 플레이트에 대한 기대치와 적용에 대한 지침을 제공하는 것입니다. 어댑터 플레이트의 사용은 공정 장비 설치와 관련된 시간과 비용을 줄이는 것으로 나타났습니다. 또한 바닥 공간과 장비에 대한 시설 연결이 줄어들 가능성이 있습니다. 프로세스 장비의 초기 설계에 어댑터 플레이트를 통합하면 장비 공급업체와 IC 제조업체에 도움이 될 수 있습니다.

이 문서는 어댑터 플레이트 설계 및 설치에 대한 지침을 설정합니다. 어댑터 플레이트는 공정 장비의 하위 시스템이며 기본 시스템 장비 공급업체에서 사용하는 많은 설계 관행을 준수합니다.

이 가이드는 일반적으로 설치 요구 사항이 복잡한(예 : 전원 및 통신을 제외한 7개 이상의 시설 연결 및 3개 이상의 유틸리티 유형) 공정 장비 클러스터 도구 및 단일 모듈 공정 장비용 어댑터 플레이트의 적용을 다루기 위한 것입니다. 어댑터 플레이트는 주변 지원 장비가 아닌 섀시 설치를 지원하는 데 사용됩니다. 이 가이드의 초점은 300mm 및 차세대 웨이퍼 장비 요구 사항이지만 다른 웨이퍼 크기 장비 또는 비 웨이퍼 장비에 적용하는 것이 적절할 수 있으며 공급업체와 최종 사용자가 논의해야 합니다.

각 어댑터 플레이트 설계는 장비 공급업체가 결정한 대로 특정 공정 장비 유형에 대해 고유합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드

SEMI E70 - 도구 수용 프로세스 가이드
SEMI E72 — 300mm 장비 설치 공간, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E76 - 300mm 공정 장비용 가이드 시설 서비스 연결 지점
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

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