SEMI F98 - 반도체 공정에서 재사용수 처리 가이드 -

Abstract

이 가이드는 반도체 제조 시설에서 물을 재사용하는 산업용 수처리 시스템의 설계에 대한 정의와 권장 사항을 제공합니다. 이는 물 재사용 시스템의 계획 및 설계에 관한 설계 사양 및 결정을 개발하기 위한 공통 기반을 확립하기 위한 것입니다. 이 가이드에는 물 재사용 시스템 운영에 대한 몇 가지 고려 사항도 포함되어 있습니다.

이 가이드는 반도체 공장 엔지니어가 사용할 수 있습니다. 설계 및 성능의 현장별 기반 개발을 위한 공급업체 기준.

이 가이드는 반도체 제조 시설 내에서 물을 재사용하도록 설계된 수처리 시스템에 적용되며, 현장 전체에서 다양한 용도로 물을 공급할 목적으로 사용됩니다. 이러한 응용 분야에는 초순수(UPW) 프런트 엔드 시스템의 프런트 엔드, 냉각 시스템, 배기 세정기, 사용 지점(POU) 저감, 열 공정 및 현장 관개로 재사용수를 보내는 것이 포함됩니다. 재사용 방식의 선택은 재사용 수질, 적용 요건 및 환경 규정에 따라 다릅니다.

이 가이드는 디자인 요소를 이해하는 데 사용할 수 있습니다. 물 재사용을 지원하는 수처리 시스템의 기능. 물 재사용을 구현하기 위해 기존 공장을 개조할 수 있지만 통합하는 새로운 시설에서 사용할 수 있는 더 넓은 범위의 기회입니다. 디자인을 기반으로 물 절약 응용 프로그램.

이 가이드의 범위는 물 재사용 분리 전략 및 가능한 처리 옵션에 관한 권장 사항을 제공하는 것입니다.

이 가이드는 경제적 및 환경적 고려 사항뿐만 아니라 특정 물 재사용 응용 분야에 대한 조건 및 제한 사항을 검토합니다. 또한 일반적인 폐수 구성에 대한 참조를 제공합니다.

참조된 SEMI 표준 s(별도 구매)

SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

개정 내역

SEMI F98-0521(기술 개정)

SEMI F98-0618(전체 재작성)

SEMI F98-0305(재승인 1111)

SEMI F98-0305(최초 게시됨)

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