SEMI F108 - 반도체, 평면 패널 디스플레이 및 태양광 전지 제조 응용 분야를 위한 액체 화학 배관 부품의 통합 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2009년 12월 16일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2010년 2월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 폴리머 구성 요소의 통합이 설치 공간의 최소화를 고려하는 배관 시스템 설치자뿐만 아니라 액체 화학 장비 제조업체를 위한 지침을 제공합니다.

이 문서는 또한 반도체, 평면 패널 디스플레이 및 태양 전지 제조를 위한 장치 및 공정 장치 내의 액체 화학 장비 분배 시스템에 사용되는 폴리머 구성 요소의 설치 관행을 발전시킬 것으로 기대됩니다.

이 가이드는 배관 시스템에서 액체 화학 물질을 운반하고 제어하는 ​​밸브, 조절기 및 필터와 같은 폴리머 구성 요소에 적용됩니다.

이러한 구성 요소 및 배관 시스템은 내식성이 높고 유체 오염이 적은 PTFE, PFA, PVDF, PVC 및 PP 등과 같은 재료로 구성됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F57-0301 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 구성 요소에 대한 임시 사양

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