SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

알림: SEMI F70의 명칭은 SEMI F70.1 생성을 반영하기 위해 0320 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

 

이 문서의 목적은 시스템을 통해 흐르는 가스에 추가된 입자 수 측면에서 가스 전달 시스템의 입자 기여 성능을 측정하기 위한 표준화된 방법론 및 절차를 제공하는 것입니다. 이 표준화된 절차는 가스 공급 시스템 공급업체, 장비 공급업체 및 최종 사용자.

 

이 테스트 방법은 반도체 제조 장비에 사용되는 표면 실장 및 기존 가스 전달 시스템에 적용됩니다.

하위 표준:

SEMI F70.1-0320 — 펄스 테스트를 통해 가스 전달 시스템 및 그 구성 요소의 입자 기여도를 결정하기 위한 테스트 방법

 

참조된 SEMI 표준

SEMI C57 — 아르곤 사양

SEMI C59 — 질소 사양

 

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