SEMI F73 - 스테인리스 스틸 구성 요소의 젖은 표면 상태에 대한 주사 전자 현미경(SEM) 평가를 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2014년 8월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2014년 12월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2002년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2009년 3월에 게시되었습니다.

이 문서는 고순도 가스 분배 시스템에 설치하기 위한 스테인리스강 부품의 젖은 표면을 테스트하기 위한 균일한 절차를 정의합니다. 이 절차는 젖은 표면에 나타날 수 있는 미세한 표면 결함 및 오염 물질의 발생, 빈도 및 경우에 따라 정체를 특성화합니다. 이 테스트 방법의 결과와 공정 가스의 오염 또는 고순도 가스 분배 시스템이 제공하는 공정의 제품 수율 사이에는 직접적인 상관 관계가 없다는 점에 유의해야 합니다. 이 테스트 방법의 적용은 구성 요소의 자격을 얻기 위해 이 방법의 다양한 사용자 간에 비교 가능하고 재현 가능한 결과를 산출하기 위한 것입니다.

이 방법의 목적은 표면 상태와 관련된 중요한 매개변수의 정확하고 재현 가능한 측정을 달성할 일반적인 도구 매개변수 및 조건 세트를 설명하는 것입니다.

이 절차는 표면 마무리 및 청소 공정의 효율성을 결정하기 위해 스테인리스 스틸 튜브, ​​피팅, 밸브 및 기타 구성 요소의 젖은 표면에 적용됩니다. 이 기술은 피트, 내포물, 내포물 스트링거, 스크래치, 잔류 공정 마크, 입계 및 젖은 표면의 오염을 포함한 표면 결함의 계수를 설명합니다. 다만, 시료준비과정에서 발생한 표면손상은 평가대상에서 제외한다.

참조된 SEMI 표준

없음.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.