SEMI F69 - 가스 전달 시스템의 운송 및 충격 테스트를 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2013년 8월 22일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 2002년 3월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2008년 7월.

E 이 표준은 2017년 10월 편집상 수정되었습니다 . 절차 매뉴얼 , 부록 4에 따라 부적합한 제목을 수정하기 위해 변경되었습니다.

이 문서는 진동 및 충격 테스트를 통해 가스 전달 시스템의 기계적 무결성을 검증하는 테스트 방법을 제공합니다.

여기에서 권장하는 테스트 방법은 반도체 처리를 위한 가스 전달 시스템(기존 및 표면 실장 포함)의 진동(운송 시뮬레이션) 및 충격 테스트를 제공합니다.

여기에서 권장하는 테스트 방법은 배송을 위해 상자에 넣거나 포장하지 않은 가스 전달 시스템에 적용됩니다. 특히, 테스트 방법은 판금 엔클로저가 있거나 없는 상태에서 조립되고 상호 연결된 가스 전달 부품 및 관련 장착 패널(백플레인)에 적용됩니다.

이 가이드라인의 목적을 위해 운송 진동 및 그 시뮬레이션은 사용 중인 진동 수준보다 더 심각할 것으로 예상됩니다. 따라서 운송 시뮬레이션 테스트는 가스 전달 시스템의 운송 및 수명주기 진동 응력 모두에 적합한 기계적 무결성을 평가하는 데 허용되는 것으로 간주됩니다.

충격 테스트의 목적은 포장 풀기, 설치 또는 현장 사용 중에 겪을 수 있는 충격으로 인해 발생할 수 있는 장비 오작동에 대한 추가 평가를 제공하는 것입니다.

여기에서 권장하는 테스트의 성공적인 완료는 가스 전달 시스템 아키텍처, 설계 및 조립 기술에 대한 기계적 무결성의 권장 메트릭입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

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