SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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F05300 - SEMI F53 - 열 질량 흐름 컨트롤러의 전자기 민감성을 평가하기 위한 테스트 방법
F05400 - SEMI F54 - 응축 핵 계수기의 계수 효율 측정을 위한 테스트 방법
SEMI F54 - 응축 핵 계수기의 계수 효율 측정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F05500 - SEMI F55 - 질량 흐름 컨트롤러의 내식성을 결정하기 위한 테스트 방법
SEMI F55 - 질량 흐름 컨트롤러의 내식성을 결정하기 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F05600 - SEMI F56 - 질량 흐름 컨트롤러에 대한 정상 상태 공급 전압 효과를 결정하기 위한 테스트 방법
F05700 - SEMI F57 - 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 고순도 폴리머 재료 및 구성요소 사양
F05800 - SEMI F58 - Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Surface-Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry (APIMS)
F05900 - SEMI F59 - 필터 또는 가스 시스템 흐름 압력 강하 곡선 결정을 위한 테스트 방법
F06000 - SEMI F60 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 조성에 대한 ESCA 평가를 위한 시험 방법
F06100 - SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드
SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
F06200 - SEMI F62 - 주변 및 가스 온도 영향에 대한 질량 흐름 컨트롤러 성능 특성 결정을 위한 테스트 방법
F06300 - SEMI F63 - 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드
SEMI F63 - 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드 할인 가격Member Price: ₩252
Non-Member Price: ₩572,000
F06400 - SEMI F64 - 질량 흐름 컨트롤러의 지시 및 실제 흐름에 대한 압력 영향을 결정하기 위한 테스트 방법
F06500 - SEMI F65 - 메트릭 PFA 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 마운팅 베이스에 대한 치수 사양
F06600 - SEMI F66 - Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals
F06700 - SEMI F67 - 불활성 가스 정화기 용량 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F67 - 불활성 가스 정화기 용량 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
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