SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F07400 - SEMI F74 - 가스 전달 시스템에 사용하기 위한 금속 씰 디자인의 성능 및 평가를 위한 테스트 방법
F07500 - SEMI F75 - 반도체 제조에 사용되는 초순수 품질 모니터링 가이드
SEMI F75 - 반도체 제조에 사용되는 초순수 품질 모니터링 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F07600 - SEMI F76 - 부식성 가스에 노출된 가스 시스템 구성 요소의 입자 기여 평가를 위한 테스트 방법
F07700 - SEMI F77 - 부식성 가스 시스템에 사용되는 스테인리스강 표면의 전기화학적 임계 공식 온도 테스트를 위한 테스트 방법
F07800 - SEMI F78 - Practice for Gas Tungsten Arc (GTA) Welding of Fluid Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Applications - SEMI Dev 2
F07900 - SEMI F79 - 가스 분배 부품에 사용되는 실리콘과의 가스 호환성 가이드
SEMI F79 - 가스 분배 부품에 사용되는 실리콘과의 가스 호환성 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F08000 - SEMI F80 - 가스 전달 시스템의 가스 변화/퍼지 효율 측정을 위한 테스트 방법
F08100 - SEMI F81 - Specification for Visual Inspection and Acceptance of Gas Tungsten Arc (GTA) Welds in Fluid Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Applications - SEMI Dev 2
F08200 - SEMI F82 - Specification for Dimension of Mass Flow Controller/Mass Flow Meter for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
F08300 - SEMI F83 - 1.125인치 유형 2개 패스너 구성 표면 실장 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F08400 - SEMI F84 - 1.125인치 유형 2개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 3포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F08500 - SEMI F85 - 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 단일 포트 구성 요소의 치수 사양
F08600 - SEMI F86 - 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 2포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F08700 - SEMI F87 - 1.125인치 유형 4개 패스너 구성 표면 장착 가스 분배 시스템용 3포트 구성 요소(MFC/MFM 제외)의 치수 사양
F08800 - SEMI F88 - 1.5인치 유형 표면 장착 가스 분배 시스템용 표준 크기 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 치수 사양
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